تحقيق بر روي ماشين كاري ريز ساختارها با نسبت ظاهري بالا با استفاده از ميكرو EDM
تحقيق بر روي ماشين كاري ريز ساختارها با نسبت ظاهري بالا
با استفاده از ميكرو EDM
نویسندگان :
بابک عبدالله زاده - پيمان محمدپور صومعه - رامين محمدپور شترباني
چکيده :
تكنولوژي ماشين كاري ميكرو با استفاده از فوتوليتوگرافي بر روي بنيان سيليكون يكي از فرآيندهاي كليدي براي ساختن ريز ساختارها مي باشد که با اين وجود برخي محدوديتها در اين فرآيند به دليل ساختار تقريباً سه بعدي آن وجود دارد و آن نسبت ظاهري پايين آن و محدوديت مواد كاري مي‌باشد ، ليتوگرافي عميق اشعه ايكس با استفاده از اشعه تابشي همزمان و فرآيند ماشين كاري اشعه يون متمركز مي‌تواند ساختارهاي فرو ميكرون سه بعدي با نسبت ظاهري بالا و دقت فرم بسيار بالا توليد كند ، اين روش‌هاي برداشتن مواد تقريباً مي‌توانند هر ماده مانند فلزات، پلاستيك‌ها و يا نيمه هادي‌ها را ماشين كاري كنند. هم چنين محدوديتي در شكل ماشين كاري وجود ندارد. سطوح مسطح، انحناهاي دلخواه و محورهاي بلند را مي‌توان ماشين كاري كرد و براي ساختن مدل‌هاي پيچيده سه بعدي با استفاده از مواد قالب بسيار سخت، ماشين كاري با تخليه ميكرو الكترو) يكي از فرآيندهاي ماشين‌كاري جايگزيني است كه مي‌تواند با موفقيت به كار رود. ميكرو EDM مي‌تواند تقريباً هر ماده هادي را بدون توجه به سختي آن ماشين كاري كند.
این پايگاه توسط جمعی از فارغ التحصيلان مهندسی ساخت و تولید پشتیبانی می شود. در این پايگاه اينترنتي سعی ما بر این است که مجموعه کامل و مفیدی از مقالات مرتبط با مهندسی مکانیک, ساخت و تولید و موضوعات وابسته را گرد آوری کنیم.